氙氣 GB/T 5829--1995
純度 % (V/V)
雜質含量
N2
O2 Ar
H2
總碳
H2O
Kr
N2O
純氙
合格品
≥99.99
ppm (V/V) ≤
20
5
2
3
50
1
一等品
≥99.995
10
4
30
高純氙 ≥99.999
0.5
2.6
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